日本三豐MITUTOYO超高精度激光位移傳感器 OPTEX FA CDX 系列

更新時間：2025-03-14

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超高精度激光位移傳感器 OPTEX FA CDX 系列

分辨率（μm）： 0.01

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它是一個高度剛性的機身，具有專門設計的光學系統和為超高精度測量而新開發的獨立基座結構。

產品型號

19680CDX-L15 型分辨率（μm）：0.01

19681CDX-30 型分辨率（μm）：0.05

19682CDX-85 型分辨率（μm）：0.1

19683CDX-150 型分辨率（μm）：0.2

19684CDX-LW15 系列分辨率（μm）：0.01

19685CDX-W30 系列分辨率（μm）：0.05

19686CDX-W85型分辨率（μm）：0.1

19687CDX-W150 系列分辨率（μm）：0.2

19680CDX-L15 型分辨率（μm）：0.01

19681CDX-30 型分辨率（μm）：0.05

19682CDX-85 型分辨率（μm）：0.1

19683CDX-150 型分辨率（μm）：0.2

19684CDX-LW15 系列分辨率（μm）：0.01

19685CDX-W30 系列分辨率（μm）：0.05

19686CDX-W85型分辨率（μm）：0.1

19687CDX-W150 系列分辨率（μm）：0.2

19680CDX-L15 型分辨率（μm）：0.01

19681CDX-30 型分辨率（μm）：0.05

19682CDX-85 型分辨率（μm）：0.1

19683CDX-150 型分辨率（μm）：0.2

19684CDX-LW15 系列分辨率（μm）：0.01

19685CDX-W30 系列分辨率（μm）：0.05

19686CDX-W85型分辨率（μm）：0.1

19687CDX-W150 系列分辨率（μm）：0.2

主要特點

超高精度測定のため新たに開発された専用設計の光學系と獨立ベースユニット構造の高剛性ボディです。

受光素子はCDX専用設計であるイメージセンサ“ATMOS"を新開発、高水準のリニアリティを達成。

センサヘッドにEthernet通信機能を內蔵しているので、コントローラなしでネットワークに接続できます。

規范

標志	CDX-L15 型	CDX-30 型	CDX-85 型	CDX-150 型	CDX-LW15 系列	CDX-W30 系列	CDX-W85型	CDX-W150 系列
コード	19680	19681	19682	19683	19684	19685	19686	19687
測定用レーザ媒體	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ	赤色半導體レーザ
測定用レーザ波長(nm)	655	655	655	655	655	655	655	655
測定用レーザ出力(mW)	0.39	0.39	0.39	0.39	0.39	0.39	0.39	0.39
分解能(µm)	0.01	0.05	0.1	0.2	0.01	0.05	0.1	0.2
測定範囲(mm)	15±1	拡散反射設置時：30±5、正反射設置時：25.5±3	拡散反射設置時：85±20、正反射設置時：81.5±10.0	150±40	15±1	拡散反射設置時：30±5、正反射設置時：25.5±3	拡散反射設置時：85±20、正反射設置時：81.5±10.0	150±40
スポットサイズ	φ30μm	φ30μm	φ70μm	φ120μm	30×1000μｍ	30×1000μｍ	70×2000μｍ	120×4000μｍ
サンプリング周期	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto	12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
溫度特性	－10～40℃：±0.02% F.S./℃、40～50℃：±0.03% F.S./℃	－10～40℃：±0.01% F.S./℃、40～50℃：±0.03% F.S./℃	－10～40℃：±0.01% F.S./℃、40～50℃：±0.03% F.S./℃	－10～40℃：±0.01% F.S./℃、40～50℃：±0.03% F.S./℃	－10～40℃：±0.03% F.S./℃、40～50℃：±0.1% F.S./℃	－10～40℃：±0.02% F.S./℃、40～50℃：±0.04% F.S./℃	－10～40℃：±0.01% F.S./℃、40～50℃：±0.03% F.S./℃	－10～40℃：±0.01% F.S./℃、40～50℃：±0.03% F.S./℃
対応規格	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014	EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
保護等級	IP67	IP67	IP67	IP67	IP67	IP67	IP67	IP67
レーザクラス IEC/JIS	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1
レーザクラス FDA	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1	CLASS 1
リニアリティ	±0.05% of F.S.（±1 μm）	拡散反射設置時：±0.03% of F.S.（±3 μm）、正反射設置時：±0.04% of F.S.（±2.4 μm）	拡散反射設置時：測定範囲65～85 mm：±0.018% of F.S.（ ±7.2 μm）、測定範囲85～105 mm：±0.03% of F.S.（ ±12.0 μm）、正反射設置時：±0.03% of F.S.（±6.0 μm）	測定範囲110～150 mm：±0.03% of F.S.（ ±24 μm）、測定範囲150～190 mm：±0.04% of F.S.（ ±32 μm）	±0.05% of F.S.（±1 μm）	拡散反射設置時：±0.015% of F.S.（±1.5 μm）、正反射設置時：±0.04% of F.S.（±2.4 μm）	拡散反射設置時：±0.015% of F.S.（±6.0 μm）、正反射設置時：±0.03% of F.S.（±6.0 μm）	±0.015% of F.S.（±12 μm）
繰返し精度	0.01 μm	0.05 μm	0.1 μm	0.2 μm	0.01 μm	0.05 μm	0.1 μm	0.2 μm
光學方式/モード	正反射式	拡散反射式、正反射式	拡散反射式、正反射式	拡散反射式	正反射式	拡散反射式、正反射式	拡散反射式、正反射式	拡散反射式
表示部	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）	リンク表示燈（緑）/ パワー表示燈（橙/緑/青/赤）
インターフェイス	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応	Ethernet （100BASE-TX）/IEEE1588対応
材質	アルミダイカスト	アルミダイカスト	アルミダイカスト	アルミダイカスト	アルミダイカスト	アルミダイカスト	アルミダイカスト	アルミダイカスト
保存環境溫度範囲(℃)	－20～60	－20～60	－20～60	－20～60	－20～60	－20～60	－20～60	－20～60
保存環境濕度範囲(非結露)(%RH)	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85
耐環境性耐振動	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間	10～55 Hz　複振幅1.5 mm　X, Y, Z各方向 2時間
耐環境性耐衝撃	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回	50 G（500 m/s2）　X, Y, Z各方向 3回
使用環境溫度範囲(℃)	－10～50	－10～50	－10～50	－10～50	－10～50	－10～50	－10～50	－10～50
使用環境濕度範囲(非結露)(%RH)	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85	35～85
使用周囲照度	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下	白熱燈：3000 lx 以下、蛍光燈：10000 lx 以下
質量(g)	300	280	280	280	300	280	280	280
最大消費電力(W)	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）	340 mA（DC12 V時）、180 mA（DC24 V時）
供給電源電圧	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）	DC12～24 V（±10%、リップルを含む）
その他	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット	外部入力機能：レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット

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